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弹簧式测试探针通常包含了三个零部件。这些零部件必须如同微电子领域所要求的那样精确制造而成。
1、针头部分
针头主要起连接作用，并可以同各类针头一起使用。并尽可能地在测试探针和测试点之间产生较小的接触电阻以保证测试结果的真实性。作为针头材料，主要采用的是钢材和铍铜，其分别经过硬化处理，如果是非常钝的针头形状，也可使用黄铜材料。
2、弹簧部分
弹簧作为有效的零部件，即使在数十万次搭接后（试验周 期）也能确保必须的接触力。产品目录中规定的额定弹簧力可在建议的工作行程下实现，但因结构、制造公差和使用条件等因素的影响，会出现轻微波动。
3、针套部分
针套对针头和弹簧进行支撑。测量信号传输至探针针套。为了优化性能，除了对针套镀金外，还可以涂覆一层较薄的有机保护层。探针针套用于维护测试治具时方便更换测试探针。可快速进行更换，并且不需要进行布线工作。为此，在侧面设有卷边位置。期间，需注意卷边点只有在将套管装入钻孔后方可实现其较佳功能。也就是说一定要在针套装入探针板后，才能装入探针。
